| 2011年12月22日 | 第53期 報告書 |
| 2011年12月22日 | 第53回定時株主総会決議ご通知を掲載しました |
| 2011年12月05日 | 第53回定時株主総会招集ご通知に際してのインターネット開示情報 |
| 2011年12月05日 | 第53回定時株主総会招集ご通知を掲載しました |
| 2011年08月26日 | 臨時株主総会決議ご通知を掲載しました |
| 2011年08月09日 | 臨時株主総会招集ご通知を掲載しました |
| 2011年08月05日 | 新設分割会社に係わる人事異動のお知らせ |
| 2011年06月14日 | 第53期 第２四半期報告書 |
| 2011年05月13日 | 平成23年９月期 中間決算説明会 |
| 2011年04月11日 | スピードファム： 600W レーザ溶接装置発売のお知らせ |
| 2011年03月15日 | 「東北地方太平洋沖地震」による影響について | 2011年02月02日 | スピードファム： 国際太陽電池展へ出展のお知らせ | 2011年01月05日 | JI誌主催 『個人投資家のための会社説明会』のお知らせ |
| 2010年12月24日 | 第52期 報告書 |
| 2010年12月24日 | 第52回定時株主総会決議ご通知を掲載しました |
| 2010年12月07日 | 第52回定時株主総会招集ご通知を掲載しました |
| 2010年10月18日 | スピードファム： SEMICON Japan 2010 へ出展のお知らせ |
| 2010年06月09日 | 第52期 第２四半期報告書 |
| 2010年05月13日 | 平成22年９月期 中間決算説明会 |
| 2010年02月11日 | スピードファム： 第1回 国際二次電池展へ出展のお知らせ |
| 2010年02月01日 | 2010国際ウエルディングショーへ出展のお知らせ |
| 2010年01月01日 | スピードファム： 450mmウェーハ用エッジポリッシャーおよびドライ平坦化装置 雑誌記事 |
| 2009年12月24日 | IRカレンダーを更新しました |
| 2009年12月24日 | 第51期 報告書 |
| 2009年11月17日 | 平成21年９月期 決算説明会 |
| 2009年10月01日 | スピードファム： レーザ事業開始についてのご挨拶 |
| 2009年09月15日 | レーザ事業について |
| 2009年09月02日 | Webサイトをリニューアルしました |
| 2009年08月15日 | SEMICON Japan 2009 へ出展のお知らせ |
